“硼磷硅玻璃”的意思、用法、组词造句及英语翻译-汉语字词典-修远网

2026-02-02 21:37:01

　　掺杂硼和磷的硅氧化层。与磷硅玻璃一样，在高温下的流动性较好，广泛用作半导体芯片表面的层间绝缘膜。磷硅玻璃要求的回流温度高约1100℃，高温处理易引起杂质浓度再扩散和硅片变形，增加磷的含量可降低回流温度，但会影响膜的稳定性和可靠性。因此出现了掺硼的硼磷硅玻璃来代替磷硅玻璃，硼的作用是降低回流温度。回流温度随硼的增加而下降，但硼的含量增加使抗潮能力减弱，因此硼的含量要适当。一般硼磷硅玻璃中，硼和磷各占4%。

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